如何通讯半导体厂不同设备：SEMI标准之一的E84是否了解

Semi 标准e8出的通讯信息格式是采用二进制方式，使用ASCH1码马，

采用48位标准数据帧格式来传输各种信息。数据帧中包括了数据长度

，步骤码（STPOODE）、框架码（FRIICODE）、设备ID、功能码和

效据域等内容。数据域则包含了具体的通讯信息。该标准的设计还考

虑到了电磁干扰等外部环境因素，具有良好的抗干扰能力。